前端
探索紧凑且即装即用的机电一体化子系统,例如用于转移和抛光工艺的晶圆升降装置,以及通过洁净室认证的线性轴和带有集成测量系统的导轨系统,广泛应用于刻蚀、沉积、CMP(化学机械抛光)及清洗等工艺中的晶圆搬运与定位。
后端
体验用于检测、芯片测试和计量应用的动态线性运动与传动技术,以及集成式高精度运动控制方案。
电子制造
博世力士乐(Bosch Rexroth)提供小型、紧凑的线性传动技术组件和即装即用的搬运系统,其中集成了驱动与控制技术(ctrlX 自动化平台),适用于如丝网印刷、放置及取放等应用场景。